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【摘要】：
洁净棚 内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽增加风速可缓和此一扰乱
洁净棚内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽增加风速可缓和此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的增加，将影响运转成本的增加，所以应在达到要求的洁净度水准之时，能以适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性成效。
另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定作用，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，主要是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度实际上很困难。
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