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【摘要】：
能够影响到 洁净棚 气流的原因有很多，如工作人员、洁净室组装材、照明器具等这些都可能影响到，同时对于生产设备上方气流的分流点，并且还需要考虑到这几点： 1、一般操作台或
能够影响到洁净棚气流的原因有很多，如工作人员、洁净室组装材、照明器具等这些都可能影响到，同时对于生产设备上方气流的分流点，并且还需要考虑到这几点：
1、一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应该设置在洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，这样人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。
2、洁净棚内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
3、风机从FFU顶部将空气吸入，经过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速匀速送出到洁净棚内。形成均流层，使洁净空气气流呈垂直单向流，从而保证了工作区内所要求的洁净度。
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